13-10-2023
Полупроводниковая пластина — полуфабрикат в технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и микросхем.
Представляет собой тонкую (250—1000 мкм) пластину из полупроводникового материала диаметром до 450 мм, на поверхности которой с помощью операций планарной технологии формируется массив дискретных полупроводниковых приборов или интегральных микросхем.
После создания необходимой полупроводниковой структуры пластину разрезают на отдельные кристаллы (чипы). Промышленный выпуск полупроводниковых пластин имеет существенное значение для производства интегральных микросхем.
Диаметр круглой пластины
Кремниевая пластина.